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日本SMC带节流阀的真空破坏阀 ?1台阀同时具有真空吸附和破坏功能。 ?带有节流阀，可调节破坏空气的流量。 ?在同一个集装式阀上可混合安装标准型阀。 ※使用单独EXH.隔板时
日本SMC带节流阀的真空破坏阀 ?适合0603芯片。 ?内置2个阀柱。 ?使用1个阀即可控制真空吸附和破坏。 ?宽10mm（与SJ3000系列尺寸相同）。 ?带能够调节破坏空气流量的节流阀。 ?真空側、破坏側内置可更换的过滤器。 ?可与4通电磁阀SJ2000/3000混合安装（订制规格）。
日本SMC真空、破坏单元阀 ?适合0603芯片。 ?响应速度：13msec（500mm时※）/18.5msec（1000mm时※）。 ?可实现无超调的平滑工件脱离。 ?无需调节真空、正压的切换时点。 ?不需要破坏空气的节流回路。 ?真空过滤器：ZFC050（订制规格）。
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